Three-dimensional force input control device and fabrication

G - Physics – 06 – K

Patent

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G06K 11/00 (2006.01) G01L 1/26 (2006.01) G06F 3/03 (2006.01) G01L 1/18 (2006.01)

Patent

CA 2615711

The present invention is a three-dimensional force input control device for sensing vector forces and converting them into electronic signals for processing in a electronic signal processing system with all components within die fabricated from the single semiconductor substrate. The die has an elastic element, a frame formed around said elastic element, at least three mechanical stress sensitive IC components located in the elastic element, at rigid island element which transfers an external vector force to the elastic element and through the IC components provides electrical output signal, this rigid island has a height bigger than the thickness of the frame element, an external force transferring element coupling the rigid island element with an external force and electronic circuit for processing output signals from the mechanical stress sensitive IC components.

La présente invention est un dispositif de commande d'entrée de force tri-dimensionnelle pour détecter des forces vectorielles et les convertir en signaux électroniques pour le traitement dans un système de traitement de signal électronique avec tous les composants à l'intérieur fabriqués à la matrice à partir du substrat à semi-conducteur unique. La matrice possède un élément élastique, un cadre formé autour dudit élément élastique, au moins trois composants de CI sensibles à la contrainte mécanique positionnés dans l'élément élastique, au niveau d'un élément d'îlot rigide qui transfère une force vectorielle externe à l'élément élastique et fournit un signal de sortie électrique à travers les composant CI, cet îlot rigide possède une hauteur supérieure à l'épaisseur de l'élément de cadre, un élément de transfert de force externe qui couple l'élément d'îlot rigide avec une force externe et un circuit électronique pour traiter des signaux de sortie à partir des composants CI sensibles à la contrainte mécanique. Le matériau de transfert de force externe peut être plastique, élastique, caoutchouteux, des combinaisons de et tout autre matériau déformable capable de transférer une force en trois dimensions. Divers procédés de fabrication d'un tel dispositif d'interface d'entrée sur substrat sont également décrits.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1855824

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