H - Electricity – 01 – B
Patent
H - Electricity
01
B
H01B 5/14 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) H01B 13/00 (2006.01) H01L 31/04 (2006.01) H05B 33/02 (2006.01)
Patent
CA 2330123
A transparent conductive laminate in which a crystalline transparent conductive film substantially made of In-Sn-O is formed on the transparent substrate composed of a thermoplastic polymer film. The crystalline part of the transparent conductive film (ITO film) is a transparent conductive laminate having a special crystal structure in which the strength of X-rays diffracted by the (222) crystal plane or the (440) crystal plane is the highest and the ratio [X440/222] of the strength of X- rays diffracted by the (440) crystal plane to that by the (222) crystal plane is within a range of 0.2 to 2.5. The transparent conductive laminate is low in surface resistivity and useful as an electrode material such as of a liquid crystal display, an electroluminescence device, or a touch panel. The transparent conductive laminate is manufactured by a combination of control of the film-forming atmosphere in sputtering and heat treatment under specific conditions after the film is formed.
L'invention concerne un stratifié conducteur transparent dans lequel un film conducteur transparent cristallin, sensiblement à base de In-Sn-O, est formé sur le substrat transparent constitué d'un film polymère thermoplastique. La partie cristalline de ce film conducteur transparent (ou film ITO) se présente sous la forme d'un stratifié conducteur transparent avec une structure cristalline spécifique, dans laquelle l'intensité des rayons X diffractés par un premier plan cristallin (222) ou un second plan cristallin (440) est élevée, et le rapport [X440/222] de l'intensité des rayons X diffractés par le premier plan cristallin (440) à celle des rayons X diffractés par le second plan cristallin (222) se situe entre 0,2 et 2,5. Le stratifié conducteur transparent de cette invention, qui présente par ailleurs une faible résistivité superficielle, peut être utilisé comme électrode dans un dispositif d'affichage à cristaux liquides, un dispositif électroluminescent, ou un écran tactile. On fabrique ce stratifié conducteur transparent en régulant l'atmosphère filmogène de la pulvérisation cathodique et du traitement thermique selon des conditions spécifiques, une fois ledit film formé.
Hara Hiroshi
Tsuboi Seiji
Borden Ladner Gervais Llp
Teijin Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1650434