Trichromatic sensor

Details Trichromatic sensor Trichromatic sensor

H - Electricity

01

L

H01L 31/10 (2006.01) H01L 25/04 (2006.01) H01L 31/02 (2006.01) H01L 31/105 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)

Patent

CA 2204124

The invention relates to a photo sensitive electronic component based on amorphous silicon and its alloys, comprising two, in respect to each other antiserially arranged, p-i-n or n-i-p or Schottky-contact structures, in which in each case the active layers are arranged in the normal way in the direction of light incidence, whereby in the area of the first structure in the direction of light incidence, the charge carriers generated by blue light are collected for a first (V1) voltage; and in the area of the second structure in the direction of light incidence, the charge carriers generated by red or green light are collected for a second (V2) or a third (V3) voltage, and whereby at least one of the two intrinsically conducting layers is constructed from two partial layers. The object of creating better spectral selectivity is achieved in that in the partial layer (I) which is in front in the direction of light incidence, a higher product from charge carrier mobility and life-time (µ-tau product); and in the partial layer (II) which is at the rear in the direction of light incidence, a lower product from charge carrier mobility and life-time (µ-tau product) is present, in such a way that the two partial layers (I, II) in the presence of an electrical field, have different collection lengths for the charge carriers so that in the partial layer (I) which is in front in the direction of light incidence, increasingly green light, and in the partial layer (II) which is at the rear in the direction of light incidence, increasingly red light is absorbed.

Un composant électronique photosensible à base de silicium amorphe et de ses alliages comprend deux structures à contact de Schottkyl, p-i-n ou n-i-p interconnectées en anti-série. Les couches actives sont perpendiculaires à la direction de propagation de la lumière. Les porteurs de charge générés par la lumière bleue sont captés dans la première structure dans le sens d'incidence de la lumière de façon à générer une première tension (V1) et les porteurs de charge générés par la lumière verte ou rouge sont captés dans la deuxième structure dans le sens d'incidence de la lumière de façon à générer une deuxième tension (V2) et une troisième tension (V3). Au moins une des deux couches à conductivité intrinsèque est constituée de deux couches partielles. Une amélioration de la sélectivité spectrale est visée. A cet effet, le produit de la mobilité et la durée de vie des porteurs de charge (produit mu -tau) dans la première couche partielle (I) dans le sens d'incidence de la lumière est supérieur au produit de la mobilité et la durée de vie des porteurs de charge dans la deuxième couche partielle (II) dans le sens d'incidence de la lumière, de sorte que les deux couches partielles (I, II) ont des longueurs différentes de captage des porteurs de charge en présence d'un champ électrique. La première couche partielle (I) dans le sens d'incidence de la lumière absorbe ainsi davantage de lumière verte et la deuxième couche partielle (II) dans le sens d'incidence de la lumière absorbe davantage de lumière rouge.

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