Tuning fork gyro with split electrode

Details Tuning fork gyro with split electrode Tuning fork gyro with split electrode

G - Physics

01

C

G01C 19/00 (2006.01) G01C 19/56 (2006.01)

Patent

CA 2282510

A micromechanical tuning fork gyro having two center electrodes (9a, 9b). The two center electrodes are excited with bias potentials of opposite polarity. The oppositely biased center electrodes provide electrical symmetry across the gyroscope and thereby reduce charge transients and sensitivity to vertical translation. Currents injected directly into the proof masses (3a, 3b) are equal and opposite and thus cancel. Motor lift forces acting on the proof masses and interleaved electrodes equal, hence the proof masses move in pure translation, thereby reducing in-phase bias. Further, any pure translation normal to the plane of the gyroscope does not effect sense axis output signals.

L'invention concerne un gyroscope à diapason micromécanique comportant deux électrodes centrales (9a, 9b). Les deux électrodes centrales sont excitées par des potentiels de polarisation à polarité opposée. Les électrodes centrales à polarisation opposée produisent une symétrie électrique à travers le gyroscope et réduisent ainsi les transitoires de charge et la sensibilité à une translation verticale. Les courants injectés directement dans les masses d'essai (3a, 3b) sont égaux et opposés, et s'annulent donc. Les forces de soulèvement du moteur agissant sur les masses d'essai et les électrodes imbriquées étant égales, les masses d'essai se déplacent par translation pure, réduisant ainsi la polarisation en phase. En outre, toute translation pure normale dans le plan du gyroscope n'entraîne pas d'émission de signaux de sortie d'axe de direction.

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