G - Physics – 01 – D
Patent
G - Physics
01
D
G01D 5/12 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G01D 5/241 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) G01P 15/13 (2006.01)
Patent
CA 2262684
A tunneling sensor (10) has a pair of force rebalance capacitors in a push- pull relationship to provide a rebalance force that is a linear function of applied rebalance voltages, which provides an output voltage linearly related to the input acceleration. The tunneling sensor comprises plate electrode (12) attached to a silicon substrate (14) by a pair of torsional flexures (16) providing an axis of rotation for the plate electrode. A pendulous mass (18) is formed on a first end of the plate electrode, and a tunnel-effect contact (20) is formed on a second end of the plate electrode. A pair of torque rebalance bridge electrodes (22) are formed on the substrate and span the plate electrode. A tunnel-effect tip (24) is formed proximate the tunnel-effect contact and in- line with the rotational path of the tunnel-effect contact (2) when the plate electrode is rotated.
Un détecteur de galerie (10) comprend une paire de condensateurs de rééquilibrage de force linéaire utilisés en relation traction-poussée pour produire une force de rééquilibrage qui est en fonction linéaire de tensions de rééquilibrage appliquées produisant une tension de sortie liée de façon linéaire à une accélération d'entrée. Le détecteur de galerie comprend une électrode à plaque (12) fixée à un substrat en silicium (14) par une paire de flexures de torsions (16) fournissant un axe de rotation pour l'électrode à plaque. Une masse pendulaire (18) est formée sur une première extrémité de l'électrode à plaque et un contact à effet de tunnel (20) est formé sur une deuxième extrémité de l'électrode à plaque. Une paire d'électrodes en pont (22) de rééquilibrage de couple est formée sur le substrat de manière à couvrir l'électrode à plaque. Une ponte à effet de tunnel (24) est formée sur le substrat et disposée à proximité du contact à effet de tunnel et dans l'alignement du trajet de rotation du contact à effet de tunnel (2) quand l'électrode à plaque est mise en rotation.
Bernstein Jonathan J.
Ridout & Maybee Llp
The Charles Stark Draper Laboratory Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1708819