F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
D
F04D 19/04 (2006.01)
Patent
CA 2542732
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump with active magnetic bearings. The inventive pump comprises an enclosure (110) defining a primary vacuum chamber (116), a rotor (120), an electric motor (107), an axial magnetic bearing (103) and radial magnetic bearings (101, 102), an axial detector (106) and radial detectors (104, 105). According to the invention, remotely-located external electric circuits, which are associated with the electric motor (107) and with the axial (103) and radial (101, 102) magnetic bearings, essentially comprise electric power circuits (191). In addition, control circuits (194), which are used to control the axial (103) and radial (101, 102) magnetic bearings using signals transmitted by the axial (106) and radial (104, 105) detectors, are cast in resin and disposed inside the above- mentioned enclosure (110) in the primary vacuum chamber (116). The invention further comprises a sealed electrical connector (180) and an electric cable (183, 184) for connecting to the remotely-located external electric circuits (191, 192), said connector and cable each comprising fewer than 10 connecting or lead wires.
La pompe à vide turbo-moléculaire à paliers magnétiques actifs comprend une enceinte (110) définissant une chambre (116) à vide primaire, un rotor (120), un moteur électrique (107), un palier magnétique axial (103) et des paliers magnétiques radiaux (101, 102), un détecteur axial (106) et des détecteurs radiaux (104, 105). Des circuits électriques extérieurs délocalisés associés au moteur électrique (107) et aux paliers magnétiques axial (103) et radiaux (101, 102) comprennent essentiellement des circuits électriques (191) d'alimentation. Des circuits (194) de commande des paliers magnétiques axial (103) et radiaux (101, 102) à partir des signaux émis par les détecteurs axial (106) et radiaux (104, 105) sont surmoulés dans une résine et disposés à l'intérieur de l'enceinte (110) dans la chambre (116) à vide primaire. Un connecteur électrique étanche (180) et un câble électrique (183, 184) de liaison avec les circuits électriques extérieurs délocalisés (191, 192) comprennent chacun un nombre de fils de connexion ou de liaison inférieur à 10.
Mccarthy Tetrault Llp
Societe de Mecanique Magnetique
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1506139