G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2195667
A two axis closed loop angular rate sensor which provides a digital delta theta output signal. A drive member is formed of a single, silicon wafer having a pair of oppositely-facing planar surfaces. The drive member includes a frame and a drive member central portion connected to the frame and arranged to have rotational compliance between the frame and the central portion about an axis perpendicular to the planar surfaces of the silicon wafer. Drive signals are applied to a plurality of electrodes on the central portion to cause rotational oscillation of the drive member central portion about a drive axis perpendicular to the planar surfaces of the silicon wafer. A silicon sensing member is connected to the drive member. The sensing member has a central support member connected to the drive member central portion such that rotational oscillations of the drive member central portion are transmitted to the sensing member central portion. A sensing portion is connected to the sensing member central support member to allow the sensing portion to oscillate about the drive axis and to allow an input rotation rate about an axis perpendicular to the drive axis to produce out-of-plane oscillations of the sensing portions. Signal processing apparatus is connected to the sensing portion for producing a signal indicative of the input rotational rate as a function of the amplitude of the out-of-plane oscillations of the sensing portion.
Capteur de valeur angulaire en boucle fermée à deux axes, produisant un signal de sortie numérique delta-théta. Un organe d'entraînement se compose d'une seule plaquette de silicium pourvue d'une paire de surfaces planes opposées. Il comporte un cadre et une partie centrale de l'organe d'entraînement, reliée au cadre et disposée de façon à assurer une compliance en rotation entre le cadre et la partie centrale, autour d'un axe perpendiculaire aux surfaces planes de la plaquette de silicium. Des signaux d'activation sont appliqués à une pluralité d'électrodes disposées sur la partie centrale afin de provoquer une oscillation en rotation de la partie centrale de l'organe d'entraînement autour d'un axe d'entraînement perpendiculaire aux surfaces planes de la plaquette de silicium. Un organe de détection en silicium est connecté à l'organe d'entraînement. Il possède un élément de support central relié à la partie centrale de l'organe d'entraînement de telle sorte que les oscillation en rotation de la partie centrale soient transmises à la partie centrale de l'organe de détection. Une partie de détection est connectée à l'élément de support central de l'organe de détection afin de permettre l'oscillation de la partie de détection autour de l'axe d'entraînement et de permettre qu'une valeur de rotation d'entrée autour d'un axe perpendiculaire à l'axe d'entraînement occasionne des oscillations des parties de détection en-dehors du plan. Un appareil de traitement des signaux est connecté à la partie de détection afin de produire un signal indiquant la valeur de rotation d'entrée en fonction de l'amplitude des oscillations hors du plan de la partie de détection.
Fersht Samuel H.
Stewart Robert E.
Wyse Stanley F.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Litton Systems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1750570