F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – C
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
C
F04C 23/00 (2006.01) F04C 18/02 (2006.01) F04C 27/00 (2006.01)
Patent
CA 2252755
Vacuum pumping apparatus includes a non-scroll type auxiliary pump (60) and a scroll pump (62) disposed in a single housing (52). The auxiliary pump and the scroll pump are connected in series and are driven by a common motor (68). Typically, the auxiliary pump has a relatively high pumping speed and the scroll pump has a relatively high compression ratio. The auxiliary pump may be a regenerative blower, a roots-type blower or a screw-type blower. When a co- rotating scroll pump is utilized, a regenerative blower may be formed at or near the outer periphery of a disk on which the non-orbiting scroll blade is mounted. In another configuration, first and second scroll pumps are disposed within a housing. The scroll blade sets of the first and second scroll pumps have different orbiting radii. Scroll pump leakage may be reduced by forming a closed-loop seal around the inlet region of the scroll pump and connecting the inlet region to an intermediate pressure. Scroll pump leakage and contamination may be reduced in a scroll pump structure wherein the drive components and the orbiting scroll blade are located on opposite sides of the non-orbiting scroll blade.
L'invention concerne un appareil de pompage à vide comportant une pompe auxiliaire de type non spirale (60) et une pompe à spirale (62) placées dans un seul logement (52). La pompe auxiliaire et la pompe à spirale sont connectées en série et sont entraînées par un moteur commun (68). De façon caractéristique, la pompe auxiliaire présente une vitesse de pompage relativement élevée, et la pompe à spirale présente un rapport de compression relativement élevé. La pompe auxiliaire peut être un surpresseur à régénération, un surpresseur de type Roots ou un surpresseur de type hélicoïdal. Lorsqu'une pompe à spirale à corotation est utilisée, un surpresseur à régénération peut être formé à la périphérie extérieure ou près de la périphérie extérieure d'un disque sur lequel la lame en spirale non tournante est montée. Les ensembles lame en spirale de la première et de la deuxième pompe ont des rayons de révolution différents. On réduit des fuites de la pompe à spirale par formation d'un joint étanche en boucle fermée autour de la zone d'entrée de la pompe à spirale, et par raccordement de la zone d'entrée à une pression intermédiaire. Il est possible de réduire des fuites et une contamination de la pompe à spirale dans une structure de pompe à spirale dans laquelle les éléments d'entraînement et la lame en spirale tournante sont situés sur des côtés opposés de la lame en spirale non tournante.
R. William Wray & Associates
Varian Inc.
Varian Associates Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1889153