H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/203 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) G01N 29/04 (2006.01) G01N 33/20 (2006.01) H01L 21/363 (2006.01)
Patent
CA 2245511
Sputtering targets with a working portion consisting of aluminium or a very pure-base aluminium alloy are disclosed. The targets are selected according to a suitable method, comprise no more than 0.1 internal splits larger than 0.1 mm per cm<3> of working target metal, and are particularly suitable for applications requiring very fine etching. An ultrasonic internal health testing method for producing such targets is also disclosed. In particular, the method comprises selecting an ultrasonic sensor operating at a working frequency higher than 5 MHz and preferably of 10-50 MHz, adjusting the appropriate measurement chain, then counting by size and number the internal splits per unit volume in a target that is immersed in a liquid and has a number of artificial flaws simulating splits in the target, and selecting the targets that have a split density of no more than 0.1 splits larger than 0.1 mm per cm<3> of working target metal, and preferably of fewer than 0.1 splits larger than 0.04 mm per cm<3> of working metal. Furthermore, sputtering target precursors containing fewer than 0.1 splits larger than 0.04 mm per cm<3> are disclosed.
L'invention concerne les cibles de pulvérisation cathodique dont la partie active est formée d'aluminium ou d'un alliage d'aluminium à base très pure sélectionnées selon un procédé approprié et ne comportant pas plus de 0,1 décohésion interne de taille supérieure à 0,1 mm par cm3 de métal actif de la cible, notamment pour les applications nécessitant une très grande finesse de gravure. L'invention concerne aussi un procédé de contrôle par ultrasons de la santé interne qui permet d'obtenir les cibles selon l'invention. Ce procédé consiste notamment, après choix d'un capteur ultrasonore fonctionnant à une fréquence de travail supérieure à 5 MHz, et de préférence entre 10 et 50 MHz, et réglage de la chaîne de mesure appropriée, à partir d'une cible immergée dans un liquide et présentant certains défauts artificiels simulant les décohésions dans la cible, à effectuer un comptage en taille et en nombre des décohésions internes par unité de volume et à sélectionner les cibles présentant une densité de décohésions <= 0,1 décohésion de taille supérieure à 0,1 mm par cm3 de métal actif de la cible, et de préférence moins de 0,1 décohésion de taille supérieure à 0,04 mm par cm3 de métal actif. L'invention concerne également les précurseurs des cibles de pulvérisation cathodique contenant moins de 0,1 décohésion de taille supérieure à 0,04 mm par cm3.
Leroy Michel
Muller Jean
Aluminium Pechiney
Robic
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1742864