Ultrasonic washing equipment and ultrasonic washing method

B - Operations – Transporting – 08 – B

Patent

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Details

B08B 3/12 (2006.01) B08B 3/04 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01)

Patent

CA 2501592

An ultrasonic washing method capable of increasing the efficiency of the retrieval and storage of a washed object from and into a washing tank when the washed object is washed by ultrasonic wave and preventing the size of the washing equipment from being vertically increased, comprising the steps of providing an inlet (6) and an outlet (7) in the side walls of the washing tank (2) and doors (6h) and (7h) are formed openable, putting, from the inlet (6), the washed object (fed body (8)) fed in a feed route (3) on the upstream side, closing the inlet (6) by the door (6h) for sealing, leading cleaning solvent deaerated in a storage tank into the washing tank (2), washing the washed object by ultrasonic wave, returning the cleaning solvent in the washing tank (2) to the storage tank, opening the door (7h) at the outlet (7), delivering the washed object (fed body (8)) from the outlet (7) to the side through a feed route (4) on the downstream side, and repeating the steps above.

La présente invention se rapporte à un procédé de lavage par ultrasons permettant d'accroître l'efficacité d'extraction d'un objet lavé d'une cuve de lavage et de stockage d'un tel objet lavé à l'intérieur d'une cuve de lavage lorsque l'objet lavé est lavé par des ultrasons Ce procédé permet également d'empêcher que l'équipement de lavage ne présente une dimension accrue suivant la verticale. Ledit procédé comprend les étapes consistant à utiliser un orifice d'entrée (6) et un orifice de sortie (7) ménagés dans les parois latérales de la cuve de lavage (2), et associés à des portes (6h) et (7h) conçues de manière à pouvoir être ouvertes ; à placer à partir de l'orifice d'entrée (6), l'objet alimenté (corps alimenté (8)) sur un trajet d'alimentation (3) du côté amont ; à fermer l'orifice d'entrée (6) par la porte (6h) pour assurer l'étanchéité ; à transférer un solvant de nettoyage désaéré dans une cuve de stockage vers ladite cuve de lavage (2) ; à laver l'objet lavé par ultrasons ; à renvoyer le solvant de nettoyage présent dans la cuve de lavage (2) vers la cuve de stockage ; à ouvrir la porte (7h) au niveau de l'orifice de sortie (7) ; à délivrer l'objet lavé (corps alimenté (8)) par l'orifice de sortie (7) jusqu'au côté aval par le trajet d'alimentation (4), et à répéter les étapes décrites ci-dessus.

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