G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2241125
A vacuum manifold having a rectangular opening with vacuum access bores connected into the rectangular opening for an illumination field to be projected there through. A vacuum manifold is placed between a photosensitive resist covered wafer and a lens element in a photolithographic tool. The relatively high illumination energy in an illumination field used for projecting an image of a reticle onto a photosensitive resist covered wafer often results in ablated, evaporated, and effused material being coated on the lens element. The vacuum manifold placed between the lens element and the photosensitive resist covered wafer creates an airflow for removing debris or contamination preventing coating of the lens surface. This prevents image quality from degradation over time, as well as reduces downtime needed for cleaning or maintenance of the photolithographic tool.
Un aspirateur muni d'une ouverture rectangulaire avec des trous d'accès à la partie dépressurisée reliés à l'ouverture rectangulaire pour qu'un champ d'éclairage être projeté au travers. Un aspirateur est placé entre une plaquette enrobée de réserve photosensible et la lentille d'un appareil de photolithographie. L'énergie relativement élevée utilisée dans un champ d'éclairage pour projeter l'image d'un réticule sur une plaquette enrobée de réserve photosensible a souvent pour effet de recouvrir la lentille de matériau d'ablation évaporé et effusé. L'aspirateur placé entre la lentille et la plaquette enrobée de réserve photosensible engendre une circulation d'air qui élimine les débris ou les polluants et prévient ainsi l'enrobage de la lentille. Ce dispositif évite que la qualité de l'image ne se détériore avec le temps, et il réduit le temps d'immobilisation nécessaire au nettoyage ou à l'entretien de l'appareil de photolithographie.
Mccullough Andrew W.
Olson Sean
Osler Hoskin & Harcourt Llp
Svg Lithography Systems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1901041