Vacuum pump

Details Vacuum pump Vacuum pump

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

04

D

F04D 19/04 (2006.01) G01M 3/20 (2006.01)

Patent

CA 2565325

A differentially pumped mass spectrometer system comprises a mass spectrometer having first and second pressure chambers through which, during use, ions are conveyed along a path. A pump assembly (10) for differentially evacuating the chambers (62, 66, 68) is attached to the mass spectrometer. The pump assembly comprises a housing (12) attached to the mass spectrometer and a cartridge (14) inserted into the housing. The cartridge has a plurality of inlets (16, 18, 20) each for receiving fluid from a respective pressure chamber (62, 68, 66) and a pumping mechanism (30, 32, 34) for differentially pumping fluid from the chambers. The cartridge is inserted into the housing such that the pumping mechanism (10) is inclined relative to the ion path (76), but with the cartridge protruding into the mass spectrometer to such an extent that at least one of the inlets (16, 18) at least partially protrudes into its respective chamber (62, 68) without crossing the ion path.

L'invention porte sur un système de spectromètre de masse à pompage différentiel qui comprend un spectromètre de masse comportant une première et une seconde chambre de pression à travers lesquelles, en cours d'utilisation, des ions sont transportés le long d'une trajectoire. Un ensemble pompe (10) destiné à l'évacuation différentielle des chambres (62, 66, 68) est attaché au spectromètre de masse. L'ensemble pompe comprend un logement (12) attaché au spectromètre de masse et une cartouche (14) insérée dans le logement. La cartouche comprend une pluralité d'entrées (16, 18, 20) destinées chacune à recevoir un fluide en provenance d'une chambre de pression respective (62, 68, 66), et un mécanisme de pompage (30, 32, 34) permettant le pompage différentiel des fluides depuis les chambres précitées. La cartouche est insérée dans le logement de telle manière que le mécanisme de pompage (10) est incliné par rapport à la trajectoire des ions (76), mais avec la cartouche faisant saillie dans le spectromètre de masse dans une mesure telle qu'au moins l'une des entrées (16, 18) fait saillie au moins partiellement dans sa chambre respective (62, 68) sans croiser la trajectoire des ions.

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