F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
D
F04D 19/04 (2006.01) F04D 17/16 (2006.01)
Patent
CA 2563306
A differentially pumped mass spectrometer system comprises a mass spectrometer having a plurality of pressure chambers; a vacuum pump attached thereto and comprising at least three pump inlets, a first pumping section, a second pumping section downstream from the first pumping section, and a third pumping section downstream from the second pumping section, an outlet from a first, relatively low, pressure chamber being connected to a first pump inlet through which fluid can enter the pump from the first chamber and pass through the first, second and third pumping sections towards a pump outlet, an outlet for a second, medium pressure chamber of the spectrometer being connected to a second pump inlet through which fluid can enter the pump and pass through, of said sections, only the second and third pumping sections towards the pump outlet, and an outlet for a third, highest pressure chamber of the spectrometer being connected to a third pump inlet through which fluid can enter the pump and pass through, of said sections, only at least part of the third pumping section towards the pump outlet; and a backing pump connected to the pump outlet such that, in use, at least 99% of the fluid mass pumped from the spectrometer passes through both the vacuum pump and the backing pump.
L'invention concerne un système spectromètre de masse à pompage différentiel comprenant un spectromètre de masse comportant une pluralité de chambres de pression; une pompe à vide attachée à ce spectromètre et comprenant au moins trois entrée de pompe, une première section de pompage, une deuxième section de pompage en aval de la première section de pompage, et une troisième section de pompage en aval de la deuxième section de pompage, une sortie d'une première chambre de pression relativement basse reliée à une première entrée de pompe par laquelle du fluide provenant de la première chambre peut entrer dans la pompe en passant par les première, deuxième et troisième sections de pompage pour se diriger vers une sortie de pompe ; une sortie pour la deuxième chambre de pression moyenne du spectromètre reliée à une deuxième entrée de pompe par laquelle du fluide peut entrer dans la pompe et traverser seulement la deuxième et la troisième section de pompage pour se diriger vers la sortie de pompe, et une sortie d'une troisième chambre de pression supérieure du spectromètre reliée à une troisième entrée de pompe par laquelle du fluide peut entrer dans la pompe et traverser seulement au moins une partie de la troisième section de pompage pour se diriger vers la sortie de pompe; et une pompe refoulante reliée à la sortie de pompe de telle manière que, lors de son utilisation, au moins 99 % de la masse fluidique pompée du spectromètre traverse à la fois la pompe à vide et la pompe refoulante.
Schofield Nigel Paul
Stones Ian David
Stuart Martin Nicholas
Edwards Limited
Gowling Lafleur Henderson Llp
The Boc Group Plc
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1938311