C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/56 (2006.01)
Patent
CA 2234351
In a vacuum treatment system for depositing thin coatings on substrates(36 through 38), with several stationary treating chambers (8 through 11) that are held by the annular or frame-like side wall (3) of the vacuum chamber (2) and display the treatment tools (41, 42,...), and with treatment chamber openings (4 through 7) aligned peripherally inward on the center of the vacuum chamber (2) and extending in planes parallel to each other, a shaft (14), extending parallel to the opening planes and mounted in the vacuum chamber lid and/or in the vacuum chamber bottom plate (12) of the vacuum chamber (2), is provided that moves the plates (23 through 26) for closing the treatment chamber openings (4 through 7) and is supplied with actuators (19 through 22) for moving the closing plates (23 through 26) from a radially inner opening position to a radially outer closing position, whereby the actuators working together with the shaft (14) are designed as lever pinions (19 through 22).
Dans un système de traitement à aspiration pour déposer de minces revêtements sur des supports (36 à 38), avec plusieurs chambres de traitement stationnaires (8 à 11) qui sont retenues par la paroi latérale (3) annulaire ou enforme de cadre de la chambre d'aspiration (2) et contiennent les outils de traitement (41, 42,...), et avec les ouvertures des chambres de traitement (4 à 7) alignées périphériquement vers l'intérieur sur le centre de la chambre d'aspiration (2) et s'étendant sur des plans parallèles entre eux, un arbre (14), s'étendant parallèlement aux plans des ouvertures et monté dans le couvercle de la chambre d'aspiration et/ou dans la plaque de fond (12) de la chambre d'aspiration (2), sert à déplacer les plaques (23 à 26) pour fermer les ouvertures des chambres de traitement (4 à 7) et est équipé d'actionneurs (19 à 22) pour déplacer les plaques de fermeture (23 à 26) d'une position d'ouverture intérieure radialement à une position de fermeture extérieure radialement, et les actionneurs travaillant avec l'arbre (14) sont conçus comme des pignons de levier (19 à 22).
Beul Johannes
Kunkel Stefan
Maidhof Hans
Schussler Hans
Dennison Associates
Leybold Systems Gmbh
Unaxis Trading Ag
LandOfFree
Vacuum treatment system for depositing thin coatings does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Vacuum treatment system for depositing thin coatings, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Vacuum treatment system for depositing thin coatings will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1646858