C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/24 (2006.01)
Patent
CA 2564269
The invention relates to a device for vaporizing coating material, which is disposed in a vacuum chamber as part of a deposition apparatus, the coating material being arranged in a crucible for vaporization purposes. The aim of the invention is to create a vaporizing device or a method for vaporizing coating material used in a continuous thermal vacuum deposition process such that the downtimes are reduced and the cleaning and maintenance intervals are prolonged. Said aim is achieved by providing the vaporizing device with an evaporation chamber that is connected, via a vacuum valve, to a loading chamber which can be evacuated while an evaporator containing the crucible that can be filled with coating material is disposed in the evaporation chamber. Said evaporator is connected to the evaporation chamber at the vapor discharge end, i.e. the end facing the vacuum chamber, via a first vapor stop valve.
L'invention concerne un dispositif de vaporisation qui sert à vaporiser un matériau de revêtement et qui est contenu dans une chambre à vide en tant que partie d'un dispositif de revêtement, le matériau de revêtement à vaporiser étant placé dans un creuset remplissable. L'invention vise à fournir un dispositif de vaporisation ou un procédé pour la vaporisation de matériau de revêtement pour le revêtement thermique continu sous vide, grâce auxquels les temps d'arrêt sont réduits et les intervalles de nettoyage et de maintenance sont allongés. A cet effet, le dispositif de vaporisation selon l'invention comprend une chambre de vaporisation qui est reliée au moyen d'une soupape à vide à une chambre de chargement pouvant être mise sous vide. Dans la chambre de vaporisation se trouve un évaporateur qui contient le creuset pouvant être rempli de matériau de revêtement et qui est relié, du côté de la sortie de vapeur, c'est-à-dire du côté orienté vers la chambre à vide, à la chambre de vaporisation par l'intermédiaire d'une première soupape d'arrêt de vapeur.
Gottsmann Lutz
Jager Reinhard
Seyfert Ulf
Wenzel Bernd-Dieter
Gierczak Eugene J. A.
von Ardenne Anlagentechnik Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1361278