C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/448 (2006.01)
Patent
CA 2699775
A delivery system (10) for delivering species (12) to a processing chamber (14), so as to coat the surface of a large item, thereby imparting specific properties thereto, comprises: a species container (16) for containing species supplied from a source (18) of liquid species; evaporation means (20) for evaporating liquid species in said container; flow guide means (22, 24) for guiding flow of evaporated species to a processing chamber; and monitoring means (28) for measuring a rate over time of evaporation of species from said container so that flow of evaporated species delivered to said processing chamber can be monitored.
L'invention porte sur un système de distribution (10) destiné à distribuer des espèces chimiques (12) dans une chambre de traitement (14) pour revêtir la surface d'un grand objet, ce qui permet de lui conférer des propriétés spécifiques. Le système comporte un contenant d'espèces chimiques (16) destiné à contenir des espèces chimiques distribuées sous forme liquide à partir d'une source (18) d'espèces chimiques; des moyens d'évaporation (20) servant à l'évaporation des espèces chimiques sous forme liquide dans le contenant; des moyens de guidage d'écoulement (22, 24) destinés à guider un écoulement d'espèces chimiques évaporées jusqu'à une chambre de traitement; et des moyens de contrôle (28) pour mesurer un taux d'évaporation des espèces chimiques sur une période de temps, de façon à contrôler l'écoulement des espèces chimiques évaporées distribuées à la chambre de traitement.
Borden Ladner Gervais Llp
P2i Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1422656