Variable capacity electronic microcomponent or microswitch...

Details Variable capacity electronic microcomponent or microswitch... Variable capacity electronic microcomponent or microswitch...

H - Electricity

01

L

H01L 49/00 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) H01G 5/16 (2006.01) H01G 7/00 (2006.01) H01L 47/00 (2006.01) H01H 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2348107

Procédé de fabrication de microcomposants électroniques, du type capacité variable ou microswitch, comprenant une armature fixe (1) et une membrane (20) déformable situées en regard l'une de l'autre, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes, consistant : ~ à déposer une première couche métallique sur une couche d'oxyde (2), ladite première couche métallique étant destinée à former l'armature fixe ; ~ à déposer un ruban métallique (10, 11) sur au moins une partie de la périphérie et de part et d'autre de l'armature fixe (1), ledit ruban étant destiné à servir d'espaceur entre l'armature fixe (1) et la membrane déformable (20) ; ~ à déposer une couche de résine sacrificielle (15) sur au moins la superficie de ladite armature fixe (1) ; ~ à générer par lithographie une pluralité de caissons, sur la surface de ladite couche de résine sacrificielle ; ~ à déposer par électrolyse, à l'intérieur des caissons formés sur la résine sacrificielle (15), au moins une zone métallique destinée à former la membrane déformable (20), cette zone métallique s'étendant entre des sections du ruban métallique (10, 11) situées de part et d'autre de ladite armature fixe (1) ; ~ à éliminer la couche de résine sacrificielle (15).

Affiliated with

Also associated with

Rating

Variable capacity electronic microcomponent or microswitch... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.

If you have personal experience with Variable capacity electronic microcomponent or microswitch..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Variable capacity electronic microcomponent or microswitch... will most certainly appreciate the feedback.

Rate now

Comments { 0 }

Profile ID: LFCA-PAI-O-1660465