G - Physics – 01 – S
Patent
G - Physics
01
S
G01S 17/89 (2006.01) G01N 21/956 (2006.01) G01S 17/46 (2006.01) G01S 17/87 (2006.01) G02B 21/00 (2006.01) G02B 21/22 (2006.01)
Patent
CA 2322181
A system including confocal and triangulation-based scanners or subsystems provides data which is both acquired and processed under the control of a control algorithm to obtain information such as dimensional information about microscopic targets which may be "non-cooperative". The "non-cooperative" targets are illuminated with a scanning beam of electromagnetic radiation such as laser light incident from a first direction. A confocal detector of the electromagnetic radiation is placed at a first location for receiving reflected radiation which is substantially optically collinear with the incident beam of electromagnetic radiation. The system includes a spatial filter for attenuating background energy. The triangulation-based subsystem also includes a detector of electromagnetic radiation which is placed at a second location which is non-collinear with respect to the incident beam. This detector has a position sensitive axis. Digital data is derived from signals produced by the detectors. In this way, data from at least one triangulation- based channel is acquired in parallel or sequentially with at least one slice of confocal sensor data having substantially perfect temporal and spatial registration with the triangulation-based sensor data. This allows for fusion or further processing of the data for use with a predetermined measurement algorithm to thereby obtain information about the targets.
Un système comprenant des scanners ou des sous-systèmes confocaux et basé sur une triangulation fournit des données à la fois acquises et traitées sous la commande d'un algorithme de commande afin d'obtenir des informations telles que des informations dimensionnelles relatives à des cibles microscopiques pouvant être "non-coopératives". Les cibles "non-coopératives" sont illuminées par un faisceau de balayage d'un rayonnement électromagnétique tel qu'une lumière laser incidente à partir d'un premier sens. Un détecteur confocal du rayonnement électromagnétique est placé en un premier point afin de recevoir un rayonnement réfléchi sensiblement colinéaire optiquement avec le faisceau incident de rayonnement électromagnétique. Le système comprend un filtre spatial destiné à atténuer l'énergie de fond. Le sous-système basé sur une triangulation comprend également un détecteur de rayonnement électromagnétique placé en un second point non-colinéaire par rapport au faisceau incident. Ce détecteur a un axe sensible à la position. Des données numériques sont dérivées des signaux produits par les détecteurs. Ainsi, les données provenant d'au moins un canal basé sur une triangulation sont acquises en parallèle ou de manière séquentielle avec au moins une tranche de données de capteur confocal ayant un cadrage temporel et spatial sensiblement parfait avec les données du capteur basé sur une triangulation. Ceci permet la fusion ou d'autres traitements des données destinées à être utilisées avec un algorithme de mesure prédéterminé afin d'obtenir ainsi des informations relatives aux cibles.
Kilgus Donald B. T.
Svetkoff Donald J.
General Scanning Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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