Vibration control mass body

Details Vibration control mass body Vibration control mass body

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

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F

F16F 15/02 (2006.01) C22C 27/04 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)

Patent

CA 2631351

Provided is a large-size mass body for highly accurately controlling vibration accompanying a high-speed movement of a moving body such as a stage. The mass body can have a complicated shape. The vibration control mass body (100) includes a plurality of plate members (10, 20). Each of the members (10, 20) is made of a tungsten alloy which contains tungsten as a main component in a range of 80 mass % to 99 mass %. The vibration control mass body (100) is used to control vibration accompanying the movement of a moving body in a stage device having a moving body.

Cette invention porte sur un corps de masse de grande taille pour contrôler de façon très précise les vibrations accompagnant un mouvement très rapide d'un corps en mouvement tel qu'un étage. Ce corps de masse peut avoir une forme compliquée. Ce corps de masse de contrôle des vibrations (100) comprend une pluralité d'éléments plaques (10, 20). Chacun de ces éléments (10, 20) est fait en un alliage de tungstène qui contient du tungstène comme composant principal dans une proportion allant de 80 % en masse à 99 % en masse. Ce corps de masse de contrôle des vibrations (100) est utilisé pour contrôler les vibrations accompagnant le mouvement d'un corps en mouvement dans un dispositif étage ayant un corps en mouvement.

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