G - Physics – 01 – H
Patent
G - Physics
01
H
G01H 11/08 (2006.01) G01H 13/00 (2006.01) H04R 17/10 (2006.01)
Patent
CA 2614135
A sensor main body (1) is coupled to a plate-shaped diaphragm (2) which oscillates with acoustic waves, and has a plurality of resonance beams (5) which resonate with specific frequencies, respectively. The sensor main body is supported by a supporting section (11), and a cap (12) is provided on the sensor main body (1) for acoustically separating one plane of the diaphragm (2) from the other plane. Thus, a differential pressure between an acoustic pressure applied on the one plane of the diaphragm (2) and that applied on the other plane is increased, and sensitivity is improved.
Corps principal de capteur (1) couplé à un diaphragme en forme de plaque (2) qui oscille avec des ondes acoustiques, et a une pluralité de faisceaux de résonance (5) qui résonnent avec des fréquences spécifiques, respectivement. Le corps principal de capteur est supporté par une section de support (11), et une coiffe (12) est disposée sur le corps principal de capteur (1) pour séparer acoustiquement un plan du diaphragme (2) de l'autre plan. Ainsi, une pression différentielle entre une pression acoustique appliquée sur un plan du diaphragme (2) et celle appliquée sur l'autre plan est augmentée, et la sensibilité est améliorée.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1660430