Wafer fabricated electroacoustic transducer

G - Physics – 01 – H

Patent

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Details

G01H 11/06 (2006.01) H04R 1/00 (2006.01) H04R 31/00 (2006.01)

Patent

CA 2268053

A capacitive electroacoustic transducer (10) which includes an electrically insulative substrate (19), a layer of conductive material disposed (16) on a portion of a top surface of the substrate forming a first electrode of the transducer, a conductive diaphragm (22) forming a second electrode of the transducer which is deflectable in relation to the first electrode, and a structure (18) for electrically and physically separating the first and second electrodes in spaced relationship so as to constitute a capacitor. This transducer exhibits a high degree of thermal stability partly due to the substrate and diaphragm being made of materials having closely matched thermal expansion coefficients. This feature ensures that the tension in the diaphragm stays consistent even with varying temperatures, thereby maintaining a constant transducer sensitivity. In addition, the distance separating the first and second electrodes is minimized so as to create a short thermal expansion path. This short path length minimizing changes in the response of the transducer due to variations in temperature. This transducer can also be batch produced.

On décrit un transducteur (10) électroacoustique capacitif qui comprend un substrat électriquement isolant (19), une couche de matériau conducteur (16) située sur une partie d'une surface supérieure du substrat qui forme une première électrode du transducteur, une membrane conductrice (22) qui forme la deuxième électrode du transducteur et peut être défléchie par rapport à la première électrode, et une structure (18) qui sépare électriquement et physiquement les première et deuxième électrodes l'une de l'autre pour former de la sorte un condensateur. Ce transducteur possède une caractéristique de stabilité thermique très élevée qui est en partie due au fait que le substrat et la membrane sont réalisés dans des matériaux dont les coefficients de dilatation thermique sont appariés au plus juste. Cette caractéristique assure la stabilité de la tension dans la membrane même dans des conditions de température variables et assure par conséquent une sensibilité constante du transducteur. En outre la distance qui sépare les première et deuxième électrodes est réduite au maximum pour créer un petit chemin de dilatation thermique, la faible longueur du chemin de dilatation thermique réduisant au maximum les variations de la réponse du transducteur qui sont dues aux variations de température. Ce transducteur peut également être produit par lots.

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