Wavelength division multiplexed vertical cavity surface...

H - Electricity – 01 – S

Patent

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Details

H01S 5/42 (2006.01) H01S 5/183 (2006.01) H01S 5/40 (2006.01)

Patent

CA 2472061

Vertical cavity surface emitting laser arrays that emit light at different wavelengths and that are suitable for wavelength multiplexed applications. Such arrays are beneficially produced using binary masks that control the thickness elements of a spacer, which in turn controls the wavelengths of light from the individual VCSEL elements. The binary masks can be used to control either deposition (growth) or etching. The binary masks, which are comprised of open areas and closed areas, are selectively applied to an intermediate VCSEL array structure.

L'invention concerne des réseaux de lasers à cavité verticale et à émission par la surface multiplexés en longueur d'onde qui émettent de la lumière à différentes longueurs d'ondes et peuvent être utilisés dans des applications avec multiplexage en longueur d'onde. De tels réseaux sont avantageusement produits à l'aide de masques binaires qui régulent les éléments d'épaisseur d'un espaceur qui, à son tour, régule les longueurs d'onde de la lumière partant des lasers individuels à cavité verticale et à émission par la surface. Les masques binaires peuvent être utilisés pour la régulation soit du dépôt (croissance), soit de l'attaque. Les masques binaires, qui sont constitués de zones ouvertes et de zones fermées, sont appliqués, de façon sélective, sur une structure intermédiaire de réseau de lasers à cavité verticale et à émission par la surface.

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