X-ray fluorescence analysis of multilayered samples

G - Physics – 01 – B

Patent

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G01B 15/02 (2006.01) G01N 23/223 (2006.01)

Patent

CA 2381398

The invention relates to a method of analysing a specimen comprising a compound material by X-ray fluorescence analysis wherein a beam of polychromatic primary X-rays is generated in an X- ray tube by conversion of electric current into X-rays, and said beam is directed at the specimen, and wherein the element specific fluorescent X-rays are selectively detected using means for detection and an intensity of said fluorescent X-rays is determined. After the electric current is applied to the X-ray tube and the intensity of element specific fluorescent X-rays is determined, a second intensity of the element specific fluorescent X-rays is determined while applying an electric current with a different value than the previous electric current, and at least the relative abundance of the chemical element present in the compound material is then determined using the values of both intensities. The thickness of the first layer can be determined simultaneously.

L'invention concerne un procédé servant à analyser par fluorescence X un spécimen comprenant un matériau composite, ce qui consiste à générer un faisceau de rayons X primaires polychromatiques dans un tube à rayons X par conversion de courant électrique en rayons X et à diriger ledit faisceau vers le spécimen, à détecter de façon sélective les rayons X fluorescents concernant des éléments spécifiques par des moyens de détection et à déterminer une intensité desdits rayons X fluorescents. Après l'application du courant électrique au tube à rayons X et détermination de l'intensité des rayons X fluorescents concernant des éléments spécifiques, on détermine une deuxième intensité de ces rayons X fluorescents, tout en appliquant un courant électrique présentant une valeur différente de celle du courant précédent, et on détermine ensuite au moins la quantité relative de l'élément chimique présent dans le matériau composite au moyen des valeurs des deux intensités. On peut déterminer simultanément l'épaisseur de la première couche.

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