G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 23/20 (2006.01)
Patent
CA 2412634
A method and corresponding apparatus for determining one or more physical parameters, such as electron density, of a target surface of a sample are disclosed. The target surface is irradiated with X-rays of at least two different wavelengths over a range of angles of incidence, and the physical parameter is determined by combining measurements of the intensity of these X- rays following specular reflection. The X-rays at two different wavelengths may be simultaneously generated using a metal alloy anode.
La présente invention concerne un procédé et un appareil correspondant servant à déterminer un ou plusieurs paramètres physiques, tels que la densité électronique, d'une surface cible d'un échantillon. La surface cible est irradiée avec des rayons X ayant au moins deux longueurs d'onde différentes, sur une certaine gamme d'angles d'incidence, et le paramètre physique est déterminé par combinaison de mesures de l'intensité de ces rayons X après réflexion spéculaire. Les rayons X ayant deux longueurs d'onde différentes peuvent être produits simultanément grâce à l'utilisation d'une anode à alliage métallique.
European Community Represented By Commission Of The European Com
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1376498