G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 11/16 (2006.01)
Patent
CA 2556103
Apparatus for indicating the departure of a shape of an object (3; 11; 16; 18; 22; 26) from a specified shape is described. The apparatus comprises radiation means for directing an incident beam of radiation (4) onto the object, and inspecting means (5) for inspecting the final beam after transmission by or reflection from said object. The apparatus is arranged so that the final beam will have a substantially planar wavefront when said object has said specified shape, and said inspecting means (5) is arranged to determine any departure of the wavefront of the final beam from planarity. In one embodiment, the inspecting means comprises beamsplitting means, for example a diffraction grating (6) or hologram, and detector means such as a CCD camera (8). The beamsplitting means is then arranged to split the final beam into two or more beams and to direct said two or more beams to laterally displaced locations on the detector means.
L'invention concerne un appareil permettant d'indiquer le départ d'une forme d'objet (3, 11, 16, 18, 22, 26) à partir d'une forme spécifiée. Ledit appareil comprend des moyens de rayonnement permettant de diriger un faisceau de rayonnement (4) incident sur l'objet et des moyens d'inspection (5) permettant d'inspecter le faisceau final après transmission par l'objet ou réflexion à partir de celui-ci. Cet appareil est agencé de sorte que le faisceau final possède un front d'ondes sensiblement planes lorsque ledit objet présente la forme spécifiée, et les moyens d'inspection (5) sont agencés afin de déterminer un départ quelconque du front d'ondes du faisceau final à partir d'une planarité. Dans un mode de réalisation, les moyens d'inspection comprennent des moyens de division de faisceau, par exemple, un réseau de diffraction (6) ou un hologramme, et des moyens de détection, tels qu'une caméra CCD (8). Les moyens de division de faisceau sont ensuite agencés afin de diviser le faisceau final en deux faisceaux ou plus et de diriger ces faisceaux sur des emplacements déplacés latéralement sur les moyens de détection.
Lewin Andrew Charles
Scott Andrew Maxwell
Fetherstonhaugh & Co.
Qinetiq Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1350783