G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G01B 11/30 (2006.01) G01N 21/95 (2006.01)
Patent
CA 2288880
A method and apparatus for measuring the physical characteristics of reflective or transparent surfaces may be used to detect particulates, measure surface roughness, and reconstruct surface images and detect defects in regular patterns on both smooth and rough surfaces. An apparatus based on this principle comprises a light source (12) for producing a beam of light (10) directed along an optical path; a spatial filter (34), positioned along the optical path downstream from the light source, for giving the beam of light a Gaussian intensity profile (18); positioning means (22) for positioning the material (20) in the optical path downstream from the spatial filter (34); an inverse spatial filter (40), positioned along the optical path downstream from the material, for removing from the beam a Gaussian intensity profile; and a detector (46), positioned along the optical path downstream from the inverse spatial filter, for detecting the beam.
L'invention concerne un procédé et un dispositif pour mesurer les caractéristiques physiques de surfaces réfléchissant ou transparentes, visant à déceler les particules, évaluer la rugosité de surface, reconstruire les images de surface et déceler les défauts dans des structures régulières sur des surfaces à la fois lisses et rugueuses. Un dispositif fonctionnant selon le principe décrit comprend une source lumineuse (12) qui produit un faisceau lumineux (10) acheminé le long d'un chemin optique; un filtre spatial (34), placé le long dudit chemin en aval de la source, pour donner au faisceau un profil d'intensité gaussien (18); un système de positionnement (22) pour positionner le matériau (20) sur le chemin optique en aval du filtre spatial (34); un filtre spatial inverse (40), placé le long du chemin optique en aval du matériau, pour extraire du faisceau un profil d'intensité gaussien; et un détecteur (46) placé le long du chemin optique en aval du filtre spatial inverse, pour détecter le faisceau.
Blake Cassels & Graydon Llp
Holcomb Matthew J.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1352562