G - Physics – 01 – F
Patent
G - Physics
01
F
G01F 1/00 (2006.01) G01F 1/684 (2006.01)
Patent
CA 2735569
An auxiliary flow passage is formed on the outer side of a main flow pipe 42 having a main flow passage 43. An orifice 49 for limiting a flow of a gas is provided in the main flow passage 43. The auxiliary flow passage includes a pair of introduction flow passages 56 communicating with the upstream side of the orifice 49, an upstream auxiliary flow passage 59 having both ends respectively connected to downstream ends of the introduction flow passages 56, a pair of discharge flow passages 57 communicating with the downstream side of the orifice 49, a downstream auxiliary flow passage 60 having both ends respectively connected to upstream ends of the discharge flow passages 57, and a detection flow passage 61 having both ends respectively connected to center of the second auxiliary flow passage 59 and center of the second auxiliary flow passage 60, the detection flow passage including a flow rate detection element 47. The upstream end of the detection flow passage 61 is positioned on the upstream side of the main flow passage 43 relative to the both ends of the upstream auxiliary flow passage 59, and the downstream end of the detection flow passage 61 is positioned on the downstream side of the main flow passage 43 relative to the both ends of the downstream auxiliary flow passage 60.
Un circuit d'écoulement secondaire est formé à l'extérieur d'un tuyau d'écoulement principal (42) qui comporte un circuit d'écoulement principal (43). Un orifice (49) limitant l'écoulement d'un gaz est prévu à l'intérieur du circuit d'écoulement principal (43). Le circuit d'écoulement secondaire est constitué de deux circuits d'écoulement d'entrée (56) raccordés en amont de l'orifice (49), d'un deuxième circuit d'écoulement secondaire (59) dont les deux extrémités sont reliées aux extrémités aval des circuits d'écoulement d'entrée (56), de deux circuits d'écoulement de sortie (57) raccordés en aval de l'orifice (49), d'un deuxième circuit d'écoulement secondaire (60) dont les deux extrémités sont raccordées aux extrémités amont des circuits d'écoulement de sortie (57), et d'un circuit d'écoulement de détection (61) dont les deux extrémités sont raccordées au centre du deuxième circuit d'écoulement secondaire (59) et au centre du deuxième circuit d'écoulement secondaire (60), et dans lequel est placé un élément (47) de détection d'écoulement. L'extrémité amont du circuit d'écoulement de détection (61) est positionnée plus près de l'amont du circuit d'écoulement principal (43) que les deux extrémités du deuxième circuit d'écoulement secondaire (59), et l'extrémité aval du circuit d'écoulement de détection (61) est positionnée plus près de l'aval du circuit d'écoulement principal (43) que les deux extrémités du deuxième circuit d'écoulement secondaire (60).
Nozoe Satoshi
Ueda Naotsugu
Omron Corporation
Smart & Biggar
LandOfFree
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