G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 25/20 (2006.01) G01N 7/16 (2006.01) G01N 21/03 (2006.01) G01N 21/17 (2006.01) G01N 21/35 (2006.01)
Patent
CA 2284486
A micromachined integrated opto-thermal sensor (10) having a rapid intensity varying or pulsing light source (14), an interference filter (16), shadow masking (113) or reflective blocking of light from thermal sensors (19), or differential operation, a gas cavity (20) into which the detected gas (21) can flow via a channel (114) or filter, and thermal detector elements to sense the heating of the gas caused by the absorption of light at a particular wavelength by the specific gas to be detected. Another version of the sensor is one with a dual cavity. One cavity (121) contains the gas to be detected and the other cavity (122) is sealed from the ambient environment and contains no gas. Signals from the detectors from the cavities are subtracted from each other resulting in the elimination of a fixed signal (127) due to radiation impinging the detectors.
On décrit un détecteur (10) optothermique intégré micro-usiné comprenant une source (14) de lumière pulsée ou à intensité variant rapidement; un filtre d'interférence (16); un masquage perforé (113) ou un blocage par réflexion de la lumière provenant des détecteurs thermiques (19) ou d'un fonctionnement différentiel; une cavité (20) pour le gaz dans laquelle le gaz détecté (21) peut s'écouler par un passage (114) ou un filtre; et des éléments de détecteur thermique prévus pour détecter l'échauffement du gaz provoqué par l'absorption de la lumière à une longueur d'onde particulière par le gaz spécifique devant être détecté. Dans une autre version le détecteur comporte une double cavité. Une cavité (121) contient le gaz à détecter, l'autre cavité (122) étant hermétiquement fermée au milieu ambiant et ne contenant pas de gaz. Les sigaux provenant des détecteurs placés dans les cavités sont soustraits l'un de l'autre ceci ayant pour effet d'éliminer un signal fixe (127) dû aux rayonnements atteignant les détecteurs.
Honeywell Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1456219