H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2234116
In a facility for treating objects in a process tank (1) in which at least one treatment fluid is introduced and/or discharged therefrom, an even fluid distribution and pressure distribution over the entire cross-section of the process tank (1) or treatment chamber with laminar flow conditions is assured by at least one fluid-distribution device (4, 8) through which the treatment fluid is introduced or removed. The fluid distribution system (4, 8) preferably comprises at least one porous rod (4), at least one porous plate (8), at least one capillary plate (8) and/or at least one single- or multi- layered fabric element (8).
Dans une installation destinée à traiter des objets dans un contenant (1) dans lequel est introduit et/ou duquel est évacué au moins un fluide de traitement, une répartition uniforme du fluide et de la pression sur toute la section transversale du contenant (1) ou de l'espace de traitement avec des conditions d'écoulement du fluide laminaires est produite par au moins un dispositif (4,8) de répartition du fluide, ledit dispositif étant traversé par le fluide de traitement introduit et/ou évacué. Le dispositif (4,8) de répartition du fluide est, de préférence, au moins une barre (4) poreuse, au moins une plaque (8) poreuse, au moins une plaque (8) capillaire et/ou au moins un tissu (8) à une couche ou à couches multiples.
Robic
Steag Microtech Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1476562