G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01) G01P 15/14 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2435817
A micromachined silicon tuned accelerometer gyro is formed out of silicon wafers, by micromachining. The top and bottom cover which include driver, forcer, tuning and guard ring elements mounted therein are micromachined in arrays on silicon-on-insulator (SOI) wafers. The center (driver and sensing) element between the top and bottom is micromachined in an array of four inch diameter silicon wafers. The driver and sensing structure is a tuned pendulum attached by flexure joints to a vibrating structure which is suspended by a parallelogram dither suspension. The pendulum is tuned by adjusting the magnitude of a d.c. signal to match the natural frequency of the pendulum to the natural frequency of the vibrating structure. The dither suspension flexures of the vibrating structure is uniquely defined and easily machined but yet provides a dither suspension that restrains the vibrating structure within its vibrating plane with no harmonic distortion.
L'invention concerne un gyroscope d'accéléromètre accordé en silicium micro-usiné, constitué de plaquettes de silicium, obtenues par micro-usinage. Le couvercle supérieur et le couvercle inférieur, qui comprennent des éléments de commande, de force, d'accord et des anneaux de garde, montés sur lesdits couvercles, sont micro-usinés en réseaux sur des plaquettes en silicium sur isolant (SOI). L'élément central (l'élément de commande et l'élément de détection) situé entre le couvercle supérieur et le couvercle inférieur, est micro-usiné pour former un réseau de plaquettes en silicium de quatre pouces de diamètre. La structure de l'élément de commande et de détection est constituée d'un pendule accordé, fixé au moyen de joints flexibles, sur une structure vibrante, qui est suspendue par le biais d'une suspension vibrante en forme de parallélogramme. Le pendule est accordé au moyen du réglage de l'amplitude d'un signal C.C. afin de faire correspondre la fréquence naturelle du pendule à la fréquence naturelle de la structure vibrante. La flexion de suspension vibratoire de la structure vibratoire est définie de manière unique et usinée de manière aisée, mais offre toutefois une suspension vibratoire qui restreint la structure vibratoire à l'intérieur de son plan de vibrations, sans distorsion harmonique.
Borden Ladner Gervais Llp
Litton Systems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1488169