G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/038 (2006.01) G03F 7/031 (2006.01)
Patent
CA 2333365
Compositions comprising (A) an oligomer or polymer containing at least one carboxylic acid group in the molecule; (B) at least one compound of formulas (I, II, III, IV, V or VI), wherein R1 inter alia is phenyl or alkyl; R2 is for example C2-C12alkonoyl which is unsubstituted or substituted or is benzoyl; R3, R4, R5, R6 and R7 independently of one another are for instance hydrogen, C1-C12alkyl, cyclohexyl or phenyl which is unsubstituted or substituted, or are benzyl, benzoyl, C2-C12alkanoyl or phenoxycarbonyl; R8 is for example hydrogen or C1-C12alkyl or a group (B); M is for example C1-C12alkylene, cyclohexylene or phenylene; M1 inter alia is a direct bond or C1- C12alkylenoxy; and Ar is a 5- or 6-membered aromatic heterocyclic ring; (C) a photopolymerizable reactive or unreactive diluent; and (D) as a thermosetting component an epoxy compound containing at least two epoxy groups in one molecule; are highly suitable as resists which are alkaline developable.
L'invention concerne des compositions comprenant (A) un oligomère ou un polymère contenant au moins un groupe acide carboxylique dans la molécule; (B) au moins un composé représenté par la formule (I, II, III, IV, V ou VI), dans lesquelles R¿1? représente notamment phényle ou alkyle; R¿2? représente par exemple alcanoyle C¿2?-C¿12? substitué ou non ou représente benzoyle; R¿3?, R¿4?, R¿5?, R¿6? et R¿7? représentent, indépendamment les uns des autres, par exemple hydrogène, alkyle C¿1?-C¿12?, cyclohexyle ou phényle substitué ou non, ou représentent benzyle, benzoyle, alcanoyle C¿2?-C¿12? ou phénoxycarbonyle; R¿8? représente par exemple hydrogène, ou alkyle C¿1?-C¿12? ou un groupe (B); M représente par exemple alkylène C¿1?-C¿12?, cyclohexylène ou phénylène; M¿1? représente notamment une liaison directe ou alkylènoxy C¿1?-C¿12?; et Ar représente un noyau hétérocyclique aromatique à 5 ou 6 éléments; (C) un diluant photopolymérisable réactif ou non; enfin, en tant que composant thermodurcissable, un composé époxy contenant au moins deux groupes époxy dans une molécule. Les compositions selon l'invention conviennent tout particulièrement en tant que réserves qui peuvent subir un développement alcalin.
Kura Hisatoshi
Matsumoto Akira
Ohwa Masaki
Oka Hidetaka
Ciba Specialty Chemicals Holding Inc.
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1511864