B - Operations – Transporting – 65 – G
Patent
B - Operations, Transporting
65
G
B65G 49/07 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
Patent
CA 2094436
A dual-port version of the pressurized interface apparatus consists of two independent IN/OUT sections (to match most conventional processing equipments provided with respective pre-process and post-process stations). The pressurized interface apparatus interfaces one container and a processing equipment. It includes a frame which essentially consists of a box-shaped housing provided with a rim at its rear face. Housing delineates an interior space common to the two IN and OUT sections. The front face of housing is provided with two port windows closed by respective port lids. Similarly, the rear face of the frame is provided with two corresponding communication gates for communicating with the said pre-process and post-process stations respectively. There are one port window and one communication gate for each section, the interior space therebetween forming a port zone. A pair of notches and a pair of thrusts are disposed on the sides of each port window. A lid actuator device is affixed onto the top surface of the housing, whose role is to controllably permit or prevent access into said interior space through port windows. Lids maintain interior space fully hermetic once closed. In each port zone, a transfer handler robot is mounted and affixed on the internal face of the housing bottom.
Une version à deux accès du dispositif d'interface pressurisé se compose de deux sections indépendantes d'entrée/sortie (pour correspondre à la plupart des équipements de traitement classiques fournis avec les stations de prétraitement et de post-traitement). Le dispositif d'interface pressurisé est relié à un conteneur et un appareil de traitement. Il est constitué d'un bâti composé essentiellement d'un boîtier en forme de boîte ayant une bordure à l'arrière. Le boîtier délimite un espace intérieur partagé par les deux sections d'entrée et de sortie. La face avant du boîtier est pourvue de deux hublots d'accès fermés par leurs couvercles respectifs. De manière semblable, la face arrière du boîtier est pourvue de deux portes de communication correspondantes servant à communiquer avec les stations de prétraitement et de post-traitement mentionnées auparavant. Il y a un hublot d'accès et une porte de communication pour chaque section, l'espace intérieur entre ces éléments constituant une zone d'accès. Une paire de fentes et une paire d'éléments en saillie sont disposés sur les côtés de chaque hublot d'accès. Un actionneur de couvercle contrôlable est fixé à la surface supérieure du boîtier et son rôle est de permettre ou d'interdire l'accès au dit espace intérieur par l'intermédiaire des hublots d'accès. Lorsqu'ils sont fermés, les couvercles assurent l'étanchéité complète de l'espace intérieur. Dans chaque zone d'accès, un robot de prise en charge des transferts est fixé à la face interne de la partie inférieure du boîtier.
Garric Georges
Lafond Andre
Barrett B.p.
International Business Machines Corporation
LandOfFree
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