Mass spectrometer including a quadrupole mass analyser...

H - Electricity – 01 – J

Patent

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H01J 49/42 (2006.01)

Patent

CA 2386044

A mass spectrometer (10) having an ion optics system (32, 34, 36, 40, 42) in a first vacuum chamber (28) which diverts ions travelling in a first direction from a source (12, 16, 24) through an angle such that neutral particles and photons from the source continue in the first direction and are removed. The diverted ion beam (38) is then directed into a quadrupole mass analyser arrangement (52) in a second vacuum chamber (48) which comprises a configured, for example curved, set of fringe electrodes (56) followed by a linear mass analyser (54) and then an ion detector (46). The configured fringe electrodes (56) again divert the ions prior to their passage into the linear quadrupole mass analyser (54) whereby additional neutral particles possibly created by passage of the ion beam through residual gas in the vacuum chambers (28, 48) are shielded from entering the linear mass analyser (54). The use of the configured set of fringe electrodes (56) in front of the linear mass analyser (54) has been found to substantially reduce background count rates, particularly for detection of isotypes of low atomic masses.

L'invention concerne un spectromètre de masse (10) comprenant un système d'optiques ioniques (32, 34, 36, 40, 42) contenu dans une première chambre à vide (28) qui dévie les ions circulant dans une première direction depuis une source (12, 16, 24) à travers un angle, de telle sorte que les particules neutres et les photons provenant de la source continuent dans la première direction et qu'ils soient retirés. Le faisceau ionique dévié (38) est ensuite acheminé dans un analyseur de masse quadrupolaire (52) contenu dans une seconde chambre à vide (48) qui comprend un ensemble d'électrodes de bordure (56) configurées, par exemple, courbées, suivi d'un analyseur de masse linéaire (54), puis d'un détecteur d'ions (46). Les électrodes de bordure (56) configurées dévient, une fois de plus, les ions avant leur passage dans l'analyseur de masse linéaire (54), une protection empêchant des particules neutres supplémentaires éventuellement créées lors du passage du faisceau ionique à travers un gaz résiduel présent dans les chambres à vide (28, 48) de pénétrer dans l'analyseur de masse linéaire (54). L'utilisation de l'ensemble configuré d'électrodes de bordure (56) en face de l'analyseur de masse linéaire (54) permet de réduire sensiblement les taux de comptage du fond naturel de rayonnement, en particulier pour la détection d'isotypes présentant des masses atomiques peu élevées.

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