G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 11/06 (2006.01) G01B 11/30 (2006.01)
Patent
CA 2451112
In one aspect, the invention relates to an apparatus for monitoring thickness variations of an object having first and second opposing surfaces. The apparatus includes a first source positioned to project a first fringe pattern at a first location on the first surface and a second source positioned to project a second fringe pattern at a first location on the second surface. The apparatus further includes a first detector positioned to detect the first fringe pattern at the first location on the first surface, the first detector generating a first signal in response to the first fringe pattern at the first location. The apparatus also includes a second detector positioned to detect the second fringe pattern at the first location on the second surface, the second detector generating a second signal in response to the second fringe pattern at the first location. The apparatus further includes a processor adapted to calculate variations in the thickness of the object in response to the first and the second signals.
L'invention concerne, dans un aspect, un appareil de contrôle des variations d'épaisseur d'un objet présentant un première et une seconde faces opposées. L'appareil comprend une première source disposée de façon à projeter un premier diagramme de franges sur un premier emplacement de la première face, et une seconde source disposée de façon à projeter un second diagramme de franges sur un premier emplacement de la seconde face. L'appareil comprend aussi un premier détecteur placé de façon à détecter le premier diagramme de franges projeté sur le premier emplacement de la première face, ledit premier détecteur émettant un premier signal en réponse au premier diagramme de franges projeté sur le premier emplacement. L'appareil comprend également un second détecteur placé de façon à détecter le second diagramme de franges projeté sur le premier emplacement de la seconde face, ledit second détecteur émettant un second signal en réponse au second diagramme de franges projeté sur le premier emplacement. L'appareil comprend en outre un processeur adapté pour calculer des variations de l'épaisseur de l'objet en réponse aux premier et second signaux.
Massachusetts Institute Of Technology
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1569215