G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/00 (2006.01)
Patent
CA 2577335
Disclosed is new architecture of microelectromechanical system (MEMS) device. The device has a partially reflective optical layer, a deformable mechanical layer and a mirror layer, each of which forms an independent electrode. A support post separates the optical layer from the mechanical layer. The mirror layer is located and movable between a first position and a second position, which are located between the optical layer and the mechanical layer. The mirror is spaced from the support post, and mirror is responsive to voltages applied to the three electrodes, thereby moving between the first position and the second position. By applying various combinations of voltage differences between the optical layer and the mirror, and between the mirror and the mechanical layer, the location of the mirror between the first and second positions is tunable throughout the space between the two positions. The tunable MEMS device can be used as an analog display element or analog electrical device such as a tunable capacitor. The MEMS device of the disclosed architecture can also be operated in a non-analog manner.
L'invention concerne une nouvelle architecture d'un dispositif à système mécanique microélectrique (MEMS). Le dispositif comprend un couche optique réfléchissante, une couche mécanique déformable et une couche miroir, chaque couche formant une électrode indépendante. Une pointe de support sépare la couche optique de la couche mécanique. La couche miroir est située et peut être déplacée entre une première position et une seconde position, lesquelles sont situées entre la couche optique et la couche mécanique. Le miroir est espacé de la pointe de support et réagit à des tensions appliquées sur les trois électrodes pour se déplacer entre la première position et la seconde position. En appliquant diverses combinaisons d'écarts de tension entre la couche optique et le miroir et entre le miroir et la couche mécanique, l'emplacement du miroir entre la première position et la seconde position peut être réglée sur tout l'espace située entre ces deux positions. Le dispositif à MEMS accordable peut être utilisé comme élément d'affichage analogique ou comme dispositif électrique analogique, tel qu'une capacité accordable. Le dispositif à MEMS de l'architecture de l'invention peut également être mis en oeuvre dans un mode non analogique.
Idc Llc
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1582197