F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 16 – K
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
16
K
F16K 7/00 (2006.01) F16K 1/42 (2006.01) F16K 7/14 (2006.01) F16K 25/00 (2006.01) F16K 31/122 (2006.01)
Patent
CA 2407989
A metal diaphragm valve for use inter alia in semiconductor facilities. This metal diaphragm valve is so designed as to reduce the fluid resistance of the fluid path from the valve chamber to the outflow path of the body and allows a large quantity of fluid to flow in spite of its small size. The metal diaphragm valve of the present invention comprises a body 2 provided with an inflow path 6, a valve chamber 8 and an outflow path 7 and a metal diaphragm 3, driving means 4 and a ring-shaped groove 5, wherein the diameter D of the inflow path 6 is larger than the width W of the ring-shaped groove 5 and the effective cross- sectional area of the regions where the ring-shaped groove 5 and the outflow path 7 intersect one another is larger than the transverse cross-sectional area of the outflow path 7.
La présente invention concerne un robinet à membrane métallique utilisé pour un dispositif de fabrication de semi-conducteurs. Ledit robinet permet à une importante quantité de liquide de passer en dépit d'une taille compacte par diminution de la résistance fluide d'un passage allant d'une chambre des robinets à un passage d'effluence en passant par un passage d'affluence dans un corps d'appareil de robinetterie. Ledit robinet comprend un corps (2) présentant un passage d'affluence (6), une chambre des robinets (8) et un passage d'effluence (7), une membrane métallique (3), un moyen de commande (4) et une rainure annulaire (5). Ledit robinet est caractérisé en ce que le diamètre (D) du passage d'effluence (7) est plus important que la largeur de rainure (W) de la rainure annulaire (5) et en ce que la section efficace de la partie de croisement de la rainure annulaire (5) avec le passage d'effluence (7) est plus importante que la section transversale du passage d'effluence (7).
Fujikin Incorporated
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1591310