Polycrystalline germanium-based waveguide detector...

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 21/302 (2006.01)

Patent

CA 2528184

A photodetector (10) for use with relatively thin (i.e., sub-micron) silicon optical waveguides formed in a silicon-on-insulator (SOI) structure comprises a layer of poly-germanium disposed to couple at least a portion of the optical signal propagating along the silicon optical waveguide. Tight confinement of the optical signal within the waveguide structure allows for efficient evanescent coupling into the poly-germanium detector. The silicon optical waveguide may comprise any desired geometry, with the poly-germanium detector (10) formed to either cover a portion of the waveguide, or be butt-coupled to an end portion of the waveguide. When covering a portion of the waveguide, poly-germanium detector (10) may comprise a "wrap-around" geometry to cover the side and top surfaces of the optical waveguide, with electrical contacts formed at opposing ends of the detector (10).

L'invention concerne un photodétecteur destiné à être utilisé avec des guides d'ondes optiques silicium relativement minces (submicroniques) formés dans une structure silicium sur isolant. Ce photodétecteur comprend une couche poly-germanium disposée de sorte à coupler au moins une partie du signal optique se propageant le long du guide d'ondes optiques silicium. Le confinement serré dudit signal optique à l'intérieur de la structure guide d'ondes permet un couplage évanescent efficace dans le détecteur poly-germanium. Le guide d'ondes optiques silicium peut présenter n'importe quelle forme géométrique, le détecteur poly-germanium étant formé soit pour recouvrir une partie du guide d'ondes, soit pour être couplé abouté à une partie extrémité du guide d'ondes. Lorsqu'il recouvre une partie du guide d'ondes, le détecteur poly-germanium peut présenter une forme géométrique enveloppante, de sorte à recouvrir les surfaces latérales et supérieure du guide d'ondes optiques, des contacts électriques étant formés au niveau des extrémités opposées du détecteur.

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