G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/45 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/02 (2006.01) G01D 5/26 (2006.01) G01J 9/02 (2006.01)
Patent
CA 2102593
2102593 9220990 PCTABS00160 Dispositif de mesure d'une caractéristique d'un objet par interferométrie. Ce dispositif comporte une source lumineuse (12) émettant un faisceau d'entrée, des moyens (20) à microguides pour séparer le faisceau d'entrée en des faisceaux de référence et de mesure incident, un premier microguide (14) pour véhiculer le faisceau de mesure incident vers l'objet, un second microguide (16) pour véhiculer le faisceau de référence, un troisième microguide (18) pour véhiculer le faisceau de mesure issu de l'objet, des moyens (24) à microguides pour faire interférer les faisceaux de référence et de mesure issus de l'objet et former au moins un signal d'interférence, au moins deux détecteurs (D1, D2) pour détecter ce signal et délivrer deux signaux électriques déphasés représentatifs du signal d'interférence, les moyens de séparation et d'interférence et les microguides étant formés sur une structure guide intégrée sur un substrat, les moyens d'interférence étant des trous d'Young (24) ou un coupleur à au moins trois voies.
Gidon Pierre
Valette Serge
Gidon Pierre
Valette Serge
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