G - Physics – 03 – C
Patent
G - Physics
03
C
G03C 1/73 (2006.01) G03C 5/00 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01)
Patent
CA 2406307
A method of imaging acid in a chemically amplified photoresist comprising the steps of: (a) exposing the chemically amplified photoresist to radiation thereby generating an acid, the chemically amplified photoresist comprising at least one species of pH-dependent fluorophore that fluoresces in the presence of the acid, the pH-dependent fluorophore being present at a concentration that enables the fluorescence from individual molecules of the pH-dependent fluorophore to be individually resolved; and (b) generating an image of the acid in the photoresist, the image comprising at least one or a plurality of discrete points corresponding to the fluorescent emission from an individual molecule or molecules of the pH-dependent fluorophore.
L'invention concerne un procédé permettant de mettre en image un acide dans une photorésine à amplification chimique. Ce procédé consiste: (a) à exposer la photorésine à amplification chimique à un rayonnement afin d'obtenir un acide, la photorésine à amplification chimique comprenant au moins une espèce de fluorophore tributaire du pH qui devient fluorescent en présence de l'acide, ce fluorophore étant présent à un taux qui permet à la fluorescence de molécules individuelles du fluorophore tributaire du pH d'être individuellement résolue ; et (b) à générer une image de l'acide dans la photorésine, cette image comprenant au moins un ou une pluralité de points discrets correspondant à une ou plusieurs molécules individuelles du fluorophore tributaire du pH.
Feke Gilbert D.
Grober Robert D.
Sim & Mcburney
Yale University
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1649386