G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 1/14 (2006.01)
Patent
CA 2251550
A method for sticking a pellicle on an article to be protected, which comprises pressing a pellicle to the article with a pressure-sensitive adhesive having a hardness of 200 gf or below present between the open side of the pellicle frame and the article under a pressure equivalent to or exceeding the close adhesion pressure inherent in the pressure-sensitive adhesive to thereby make the pellicle adhere closely to the article; and pellicle- protected articles obtained by the method. A pellicle for ultraviolet rays of 140 to 200 nm in wavelength, provided with a pressure-sensitive adhesive and comprising a pellicle membrane, a pellicle frame for spreading and holding the membrane through an adhesive layer (a), and an adhesive layer (b) for fixing the frame on an article to be protected, wherein the generation from the layers (a) and (b) of compounds which are adsorbed or absorbed by the pellicle membrane and generate free radicals when irradiated with ultraviolet rays of 140 to 200 nm in wavelength is depressed to an amount of 200 ppm or below; and a case for the pellicles. Thus, the present invention provides a process for the production of an article (such as a mask, reticle or the like) which has a pellicle stuck thereon and is protected from the adhesion of dust thereon; a pellicle for ultraviolet rays of 200 nm or shorter in wavelength, provided with a pressure-sensitive adhesive and excellent in light resistance (endurance); and a case for the pellicles.
L'invention concerne un procédé permettant de coller une pellicule de protection sur un article. Ce procédé consiste à appliquer une pellicule sur un article au moyen d'une colle auto-adhésive ayant une dureté maximale de 200 gf entre la face libre du cadre de la pellicule et l'article pour une pression équivalente ou supérieure à la pression d'adhésion enfermée inhérente à la colle auto-adhésive pour que la pellicule adhère fortement à l'article. L'invention concerne également des articles obtenus par ce procédé. Une pellicule pour les rayons ultraviolets d'une longueur d'onde comprise entre 140 et 200 nm, dotée d'une colle auto-adhésive et comprenant une membrane, un cadre dans lequel la membrane est tendue et fixée par une couche de colle (a), et une couche de colle (b) permettant de fixer le cadre sur l'article à protéger. La formation, à partir des couches (a) et (b), des composés qui sont adsorbés ou absorbés par la membrane et produisent des radicaux libres en cas d'exposition à des rayons ultraviolets d'une longueur d'onde comprise entre 140 et 200 nm est réduite à une quantité de 200 ppm maximum. L'invention concerne également un emballage destiné à ces pellicules. Ainsi l'invention propose un procédé permettant de produire un article (p.ex. un masque, une réticule ou équivalent) doté d'une pellicule collée qui le protège de la poussière. L'invention propose également une pellicule pour les rayons ultraviolets d'une longueur d'onde de 200 nm maximum, dotée d'une colle auto-adhésive et d'une excellente résistance à la lumière. L'invention propose enfin une enveloppe destinée à ces pellicules.
Kondo Masahiro
Nakagawa Hiroaki
Shigematsu Shigeto
Tsumoto Takamasa
Mitsui Chemicals Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1666194