Semiconductor switch array with electrostatic discharge...

H - Electricity – 01 – L

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H01L 23/60 (2006.01) H01L 27/02 (2006.01)

Patent

CA 2228214

A method of inhibiting electrostatic discharge damage to an array of semiconductor switches (21) formed on a common substrate and arranged in rows and columns comprises the steps of: during formation of gate lines (24) that interconnect one of the rows and columns of the array, connecting one end of each gate line directly to a shorting ring (52) and another end of each gate line to a shorting ring (56) via a protection element (54); during formation of the source lines (26) that interconnect the other of the rows or columns of the array connecting one end of each source line directly to a shorting ring (56) and connecting another end of each source line to a shorting ring (56) via a protection element (58); and electrically coupling the shorting rings (52 56). A semiconductor switch array (21) incorporating electrostatic discharge protection (50) is also provided.

Méthode destinée à empêcher une décharge électrostatique de causer des dommages à un réseau de commutateurs à semi-conducteurs (21) formés sur un substrat ordinaire et disposés en rangées et en colonnes. La méthode consiste à : connecter, pendant la formation des lignes de porte (24) qui relient une des rangées et des colonnes du réseau, une extrémité de chaque ligne de porte directement à un anneau de court-circuitage (52), tandis que l'autre extrémité est reliée à un anneau de court-circuitage (56) via un dispositif de protection (54); connecter, pendant la formation des lignes de source (26) qui relient les autres rangées et colonnes du réseau, une extrémité de chaque ligne de source directement à un anneau de court-circuitage (56), tandis que l'autre extrémité est reliée à un anneau de court-circuitage (56) via un dispositif de protection (58); coupler électriquement les anneaux de court-circuitage (52, 56). La présente invention fait également état d'un réseau de commutateurs à semi-conducteurs (21) doté de dispositifs de protection contre les décharges d'électricité statique (50).

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