H - Electricity – 04 – N
Patent
H - Electricity
04
N
H04N 9/31 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01)
Patent
CA 2282495
The thin film AMA has a substrate, an actuator, a common line, and a reflecting member (180). The substrate has an electrical wiring and a connecting terminal and the actuator has a supporting layer (130), a bottom electrode (135), a top electrode (145), and an active layer (140). The common line (150) is formed on a portion of actuator and is connected to top electrode (145). The electrical wiring and connecting terminal may not be damaged because the actuator is formed on a portion of substrate adjacent to the portion where electrical wiring and connecting terminal are formed. The voltage drop of a second signal can be minimized because common line (150) is formed thickly on a portion of the actuator, so a sufficient second signal is applied to the top electrode (145). The flatness of the reflecting member (180) may be enhanced because the reflecting member (180) is formed on a second sacrificial layer.
Le groupement de miroirs actionnés, à couche mince, comprend un substrat, une ligne commune et un élément réfléchissant (180). Ledit substrat présente un câblage électrique et une borne de connexion et l'actionneur comporte une couche de support (130), une électrode inférieure (135), une électrode supérieure (145) et une couche active (140). La ligne commune (150) est formée sur une partie de l'actionneur et est connectée à l'électrode supérieure (145). Le câblage électrique et la borne de connexion ne risquent pas d'être endommagés car l'actionneur est formé sur une partie du substrat adjacente à la partie dans laquelle le câblage électrique et la borne de connexion sont formés. La chute de tension d'un deuxième signal peut être minimisée car la ligne commune (150) est formée en couche épaisse sur une partie de l'actionneur de sorte qu'un deuxième signal soit appliqué sur l'électrode supérieure (145). La planéité de l'élément réfléchissant (180) peut être accrue car l'élément réfléchissant (180) est formé sur une deuxième couche sacrificielle.
Choi Yoon Joon
Min Yong Ki
Daewoo Electronics Co. Ltd.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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