B - Operations – Transporting – 24 – D
Patent
B - Operations, Transporting
24
D
B24D 3/00 (2006.01) B24B 37/00 (2006.01) B24B 53/12 (2006.01)
Patent
CA 2620407
An efficiently processible polishing tool, particularly used for a CMP pad conditioner, capable solving problems in a fixing strength for fixing abrasive grains to a base plate and problems in nonuniform polished surface and a method of effectively manufacturing the polishing tool. The polishing tool (1) comprises a polishing part formed of a super abrasive grain sintered body sintered integrally with the lining material of a cemented carbide. The polishing part comprises a plurality of polishing units (2) with top parts. The top parts are positioned on an approximately same plane. The polishing units (2) are formed by forming a linear groove (3) group in the polishing part.
La présente invention concerne un outil de polissage qui peut être traité de façon efficace, particulièrement utilisé pour un dispositif de conditionnement de tampon de polissage chimique et mécanique, capable de résoudre des problèmes de résistance de fixation pour fixer des grains abrasifs à une plaque de base et des problèmes de surface non uniformément polie et un procédé de fabrication efficace de l~outil de polissage. L~outil de polissage (1) comprend une partie de polissage formée d~un corps fritté à grains super abrasifs fritté de façon solidaire du matériau de revêtement d~un carbure métallique. La partie de polissage comprend une pluralité d~unités de polissage (2) avec des parties supérieures. Les parties supérieures sont positionnées sur un plan approximativement identique. Les unités de polissage (2) sont formées en formant un groupe de rainures linéaires (3) dans la partie de polissage.
Ishizuka Hiroshi
Mbm Intellectual Property Law Llp
LandOfFree
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