G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/21 (2006.01) G11B 7/0065 (2006.01) G11B 7/13 (2006.01)
Patent
CA 2288673
Ellipsometer having light source means which provide a first light beam (g1) having a first angular frequency (.omega.1) and a second light beam (g2) having a second angular frequency (.omega.2), a neutral beam splitter (N) having a front face for receiving a measuring beam (g'm2), which during operation is produced by scanning a sample (S;OD1;OD2) with the second light beam (g2), and a rear face for receiving the first light beam (g1), wherein, during operation, an interference beam is formed at the rear face, wherein the light source means comprise two separate laser sources (L1, L2) and the ellipsometer is provided with a control circuit (C) having at least one input for receiving information with regard to the first and second angular frequencies (.omega.2, .omega.1) or the difference between the two and at least one output, coupled to at least one of the two laser sources, for controlling the difference between the first and second angular frequencies (.omega.2, .omega.1).
On décrit un ellipsomètre muni de moyens d'éclairage qui produisent un premier faisceau lumineux (g¿1?) ayant une première fréquence angulaire (.omega.¿1?) et un deuxième faisceau lumineux (g¿2?) ayant une deuxième fréquence angulaire (.omega.¿2?), un séparateur de faisceau neutre (N) comportant une face d'attaque pour recevoir un faisceau de mesure (g'¿m2?) qui, pendant le fonctionnement, est produit par balayage d'un échantillon (S;OD1;OD2) au moyen du deuxième faisceau lumineux (g¿2?), et une face arrière pour recevoir le premier faisceau lumineux (g¿1?). Un faisceau d'interférence est formé sur la face arrière pendant le fonctionnement, et les moyens d'éclairage comprennent deux sources laser (L1, L2). L'ellipsomètre est équipé d'un circuit de commande (C) présentant au moins une entrée pour recevoir des informations concernant la première et la deuxième fréquences angulaires (.omega.¿1?, .omega.¿2?) ou la différence entre elles, et au moins une sortie couplée à au moins une ou deux sources laser pour réguler la différence entre la première et la deuxième fréquences angulaires (.omega.¿1?, .omega.¿2?).
Hemmes Klaas
Koops Karl Richard
Fetherstonhaugh & Co.
Technische Universiteit Delft
LandOfFree
Ellipsometer with two lasers does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Ellipsometer with two lasers, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Ellipsometer with two lasers will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1722836