H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
Patent
CA 2164971
A spiral magnetic linear trans- lating mechanism (46) for use with a wafer processing system which in- cludes a plurality of evacuatable hous- ings (12) connected a series to form a processing line comprises at least one wafer support structure (24) which is mounted to move on a track (14) through the housings (12) along the processing line. The structure (24) includes a base (36) disposed prox- imate a wall (38b) of the housing (12) and includes a plurality of mag- netic thread segments (34) extending thereon to face the wall (38b). Out- side of the housing (12), a cylindrical shaft (48) is mounted proximate the wall (38b). An elongated magnetic drive (52) with successive sections is wound spirally around the shaft (48) to rotate with the shaft (48) so that the sections of the drive face the wall (38b) opposite the thread segments (34). The magnetic thread segments (34) are attracted to the magnetic drive (52), thus coupling the wafer support structure (24) to the shaft (48) such that when the shaft (48) rotates the thread segments (34) are exposed to different successive sections of the drive (52) located further along the shaft (48) and the wafer carrier (24) is driven linearly along the track (14) and through the housing (12). Preferably, the magnetic thread segments (34) and spiral magnetic drive (52) are made up of individual magnetic elements (70, 72, 74) alternately magnetically polarized at their outer extremities with opposite magnetic polarities so that the individual thread segment elements (70, 72, 74) are attracted to drive elements (64, 66, 68) having opposite magnetic polarities. In an alternative embodiment, the shaft (48) includes a plurality of magnetic drives (80) wound spirally thereon. The shaft (48) is covered with a non-magnetic sleeve to protect the magnetic drive (52).
Mécanisme (46) de translation magnétique linéaire à spirale intégré à un système de traitement de plaquettes comprenant de multiples logements (12) pouvant être évacués et reliés en série de façon à former une chaîne de traitement comprenant au moins une structure (24) de support des plaquettes traversant les logements (12) de la chaîne de traitement en se déplaçant le long d'une voie (14). La structure (24) comprend une base (36) disposée à proximité d'une paroi (38b) du logement (12) et plusieurs segments magnétiques (34) de filet répartis le long de la base et faisant face à ladite paroi (38b). Un arbre cylindrique (48) est monté à l'extérieur du logement (12) à proxmité de la paroi (38b). Un mécanisme d'entraînement magnétique allongé (52), en plusieurs sections successives, est enroulé en spirale autour de l'arbre (48) et tourne avec lui de manière que les sections d'entraînement se trouvent face à la paroi (38b) et opposée aux segments (34) de filet. Les segments magnétiques (34) de filet étant attirés par le mécanisme d'entraînement (52), il s'établit un couplage magnétique entre la structure (24) porteuse de plaquettes et l'arbre (48) tel que lorsque l'arbre (48) tourne, les segments de filet (34) sont exposés aux différentes sections successives de l'entraînement (52) situées plus en avant le long de l'arbre (48), et que le porte-plaquette (24) est entraîné linéairement le long de la voie (14) et à travers le logement (12). Les segments magnétiques (34) de filet et l'entraînement magnétique (52) par spirale sont de préférence constitués d'éléments magnétiques individuels (70, 72, 74) dont les extrémités extérieures présentent une polarisation magnétique alternée opposée, de sorte que les différents éléments de segments magnétiques (70, 74, 76) sont attirés par les éléments entraînement (64, 66, 68) de polarité magnétique opposée. Dans un autre mode de réalisation, l'arbre (48) peut comporter plusieurs entraînements magnétiques (80) enroulés en spirale, et être recouvert d'une gaine non magnétique de protection de l'entraînement magnétique (52).
Deligi Mario
Derbinsky Senia
Macrae & Co.
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
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