Method for depositing electrically insulating layers

Details Method for depositing electrically insulating layers Method for depositing electrically insulating layers

C - Chemistry, Metallurgy

23

C

C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)

Patent

CA 2657726

Method for producing layers of low conductivity, especially insulating layers, on at least one workpiece by vacuum coating, wherein an electrical arc discharge is operated between at least one anode and one cathode of an arc source in an atmosphere containing reactive gas, and only a small external magnetic field or none at all is produced at the surface of a target electrically connected to the cathode essentially perpendicular to the target surface to assist the vaporization process, the degree of recoating of the surface by other coating sources being less than 10%, and the magnetic field is generated by a magnet system that comprises at least one axially polarized coil with a geometry similar in size to the target.

Procédé de préparation de couches mauvaises conductrices, en particulier isolantes, sur au moins un outil, par revêtement sous vide. Une décharge en arc entre au moins une anode et une cathode d'une source d'arc est réalisée dans une atmosphère contenant un gaz réactif, et aucun ou seulement un petit champ magnétique extérieur, essentiellement perpendiculaire à la surface de la cible, est produit pour l'appui du processus de vaporisation, sur la surface d'une cible reliée électriquement à la cathode. Le taux de nouveau revêtement de la surface par d'autres sources de revêtement est inférieur à 10 %, et respectivement le champ magnétique est produit avec un système d'aimant, qui comprend au moins une bobine polarisée axialement avec une géométrie similaire aux contours de la cible.

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