H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 41/00 (2006.01)
Patent
CA 2599399
A piezoelectric micromachined ultrasonic transducer comprising a substrate and a first dielectric film formed on the substrate. An opening having a sidewall is formed through the substrate and first dielectric film. A bottom electrode is formed on the first dielectric film spanning the opening. A piezoelectric element is formed on the bottom electrode. A second dielectric film surrounds the piezoelectric element. A conformal insulating film is formed on the sidewall of the opening. A conformal conductive film is formed in contact with the bottom electrode and on the sidewall of the opening, wherein an open cavity is maintained in the opening. A top electrode is formed in contact with the piezoelectric element.
L'invention concerne un transducteur ultrasonore micro-usiné piézo-électrique comprenant un substrat et un premier film diélectrique formé sur le substrat. Une ouverture dotée d'une paroi latérale est formée à travers le substrat et le premier film diélectrique. Une électrode de sole est disposée sur le premier film diélectrique qui s'étend sur l'ouverture. Un élément piézo-électrique est formé sur l'électrode de sole. Un second film diélectrique entoure l'élément piézo-électrique. Un film isolant conforme est formé sur la paroi latérale de l'ouverture. Un film conducteur conforme est posé de manière à être en contact avec l'électrode de sole et de manière à être sur la paroi latérale de l'ouverture, une cavité ouverte étant maintenue dans l'ouverture. Une électrode supérieure est formée de manière à être en contact avec l'élément piézo-électrique.
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Research Triangle Institute
LandOfFree
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