Electrostatic device

H - Electricity – 02 – N

Patent

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Details

H02N 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2430741

An electrostatic device (10) includes a first flexible electrode (1) on which a plurality of second electrodes (2) are mounted so as to move with the first electrode (1). Upon the application of an electrical charge, the or each second electrode (2) causes deflection of the first electrode (1) which deflection is enhanced by the movement of the second electrode therewith. A variety of different designs of the device are possible to provide movement of the first electrode in a plurality of directions and also different types of in and out of plane movement, including rotation and twisting. The structure enables the device to operate at voltage levels compatible with integrated circuits and for the device to be manufactured using integrated circuit manufacturing techniques.

L'invention concerne un appareil électrostatique (10) composé d'une première électrode souple (1) sur laquelle plusieurs secondes électrodes (2) sont installées de manière à se déplacer comme avec la première électrode (1). Lors de l'application d'une charge électrique, la ou chaque seconde électrode (2) entraîne une déflexion de la première électrode (1), cette déflexion est renforcée par le mouvement de la seconde électrode en coopération. Diverses conceptions différentes de l'appareil sont possibles afin de fournir un mouvement à la première électrode dans plusieurs directions et également différents types de mouvement dans et en dehors du plan, y compris la rotation et la torsion. La structure permet à l'appareil de fonctionner à des niveaux de tension compatibles avec des circuits intégrés et de fabriquer l'appareil en utilisant des techniques de fabrication de circuits intégrés.

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