G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/25 (2006.01) B23K 26/00 (2006.01) B23K 26/03 (2006.01) B23K 26/36 (2006.01) G01N 21/27 (2006.01)
Patent
CA 2204802
In an apparatus for the diagnosis of a surface and the subsequent selective removal of layers from the surface by a pulsed laser beam wherein repeatedly areas of the surface to be diagnosed are illuminated, the light reflected from the illuminated surfaces is diffracted into spectral ranges whose intensities are measured and compared with standards and depending on this comparison layers are removed by pulsed laser beams from the surface areas diagnosed, the spaces in which the diagnosis of the surface areas and the laser irradiation procedures are performed, are spatially separated and sealed from one another so as to prevent dust and light contamination of the diagnosis space.
L'invention est un appareil de diagnostic de surfaces et d'enlèvement sélectif de couches de cette surface au moyen d'un faisceau laser pulsé. Les zones de la surface qui doivent être diagnostiquées sont éclairées, la lumière réfléchie par les surfaces éclairées est diffractée dans des gammes spectrales dont les intensités sont mesurées et comparées à des normes et, selon le résultat de cette comparaison, des couches sont enlevées des zones diagnostiquées de la surface au moyen d'un faisceau laser pulsé. Les régions dans lesquelles le diagnostic des zones et les irradiations laser sont effectuées sont séparées spatialement et isolées les unes des autres pour empêcher la contamination par la poussière et par la lumière des zones de diagnostic.
Schweizer Gerhard
Werner Linus
Wirtz Ralf
Na
Urenco Deutschland Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1836653