G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 3/51 (2006.01) G01J 1/42 (2006.01) H01S 3/10 (2006.01) H01S 3/13 (2006.01) H01S 3/225 (2006.01)
Patent
CA 2198713
Calibration of a wavelength adjustment mechanism (104) of a laser is achieved using a hollow cathode absorption lamp (114). The lamp is provided with a vaporous material having a precisely known wavelength of maximum absorption. A photo-detector (130) detects the amount of light from the laser beam absorbed by the vaporous material as a function of wavelength. The wavelength of the laser is adjusted to achieve maximum absorption such that the actual laser beam wavelength may be compared with an expected wavelength to determine a calibration offset. The hollow cathode lamp (114) is operated to produce a vaporous material of known absorption characteristic but is illuminated at a level substantially below a level required for conventional opto-galvanic resonance.
On effectue l'étalonnage d'un mécanisme (104) de régulation de longueurs d'onde d'un laser au moyen d'une lampe d'absorption cathodique creuse (114). La lampe renferme une substance à l'état de vapeur ayant une longueur d'onde d'absorption maximum connue avec précision. C'est en fonction de la longueur d'onde qu'un photodétecteur (130) détecte la quantité de lumière provenant du faisceau laser absorbé par la substance à l'état de vapeur. On régule la longueur d'onde du laser afin d'obtenir une absorption maximum de sorte que la longueur d'onde réelle du faisceau laser peut être comparée à une longueur d'onde estimée permettant de déterminer un décalage d'étalonnage. La lampe cathodique creuse (114), en fonctionnement, génère une substance à l'état de vapeur ayant une caractéristique d'absorption connue, mais son niveau d'éclairage est sensiblement inférieur à un niveau normalement requis auquel se produit une résonance opto-galvanique classique.
Cymer Inc.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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